近日，axcelis宣布向全球领先的碳化硅(sic)功率器件芯片制造商批量出货purion power series™离子注入机系统。这些出货全部在第二季度交付，其中包括为美国一家领先的sic功率器件制造商提供的purion h200 sic评估系统以及为亚洲客户提供的多种收入系统。
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