27日，晶盛机电表示已于近日成功研发出具有国际先进水平的8英寸单片式碳化硅外延生长设备。其子公司晶瑞的8 英寸衬底基础上，已实现8 英寸单片式碳化硅外延生长设备的自主研发与调试，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，达到行业领先水平。
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