哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司开发的高性能碳化硅长晶装备和高质量衬底产品实现规模化生产。自主研发的第三代半导体碳化硅产品不仅具有晶体生长周期短、良率高等优势,而且将衬底成本降低一半以上。科友半导体第三代半导体产学研聚集区一期工程已投入生产,该项目总投资10亿元,目前已安装100台长晶炉,全部达产后可形成年产10万片6英寸碳化硅衬底的生产能力。二期工程将于近期开工建设,建成后将实现年产导电型碳化硅衬底15万片。按照发展规划,未来两年科友半导体将实现年产20~30万片碳化硅衬底的产能,成为全球碳化硅衬底重要供应商之一。
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