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本轮融资将主要用于公司新产品研发、生产基地建设并为订单履约提供坚实保障。东方晶源聚焦集成电路制造良率管理领域，目标是降低芯片制造门槛，致力于成为集成电路良率管理领导者。东方晶源自主研发的计算光刻软件（opc）、纳米级电子束检测装备（ebi）、12 吋和8吋关键尺寸量测装备（cd-sem）等三款核心产品，填补多项国内市场空白。2022 年，东方晶源持续推出多款软件和硬件产品，实现多款产品的小规模量产和重复订单。